EDS检测

检测范围

• 黑色金属及合金材料
• 有色金属及合金材料
• 贵金属及合金材料
• 矿物和岩石样品
• 陶瓷材料
• 玻璃材料
• 半导体材料
• 聚合物和塑料
• 复合材料
• 涂层和镀层
• 焊点和焊料
• 粉体材料
• 环境颗粒物
• 生物组织样品
• 薄膜材料
• 纤维材料
• 催化剂
• 电池材料
• 耐火材料
• 电子元器件
• 失效分析样品
• 法医物证材料
• 考古文物样品
• 颜料和填料
• 磨料

检测标准（部分）

• GB/T 18735-2002 分析电镜(AEM/EDS)纳米薄标样通用规范
• GB/T 16840.7-2021 电气火灾痕迹物证技术鉴定方法 第7部分:EDS成分分析法
• ISO 20720:2018 Microbeam analysis — Methods of specimen preparation for analysis of general powders using WDS and EDS
• GB/T 20726-2025 微束分析 扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法
• 20253748-T-469 微束分析 分析电镜（AEM/EDS）纳米薄标样通用规范
• AWWA ACE63056 Dual-Objective Membrane Pretreatment: Fouling Reduction and Removal of Pharmaceuticals/EDS
• BS ISO 20720:2018 Microbeam analysis. Methods of specimen preparation for analysis of general powders using WDS and EDS
• KS D ISO 22309(2021 Confirm)(2021) 마이크로빔 분석－에너지 분산 분광법(EDS)을 이용한 정량 분석
• KS D ISO 22309-2011(2021) 마이크로빔 분석－에너지 분산 분광법(EDS)을 이용한 정량 분석
• KS D ISO 22309-2011(2016) 마이크로빔 분석－에너지 분산 분광법(EDS)을 이용한 정량 분석
• DB65/T 4489-2022 天然彩色棉鉴别方法EDS能谱分析法
• ISO 22309:2011 Microbeam analysis — Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS) for elements with an atomic number of 11 (Na) or above
• DIN ISO 22309:2015-11 Microbeam analysis - Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS) for elements with an atomic number of 11 (Na) or above (ISO 22309:2011)
• AWWA MTC64594 Removal of Selected Pharmaceutical/EDS and Fouling Control Using Membrane Filtration and Biological Filtration as Pre-Treatment
• ISO 22309:2006 Microbeam analysis — Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS)
• SAE ARINC827-1 ELECTRONIC DISTRIBUTION OF SOFTWARE BY CRATE (EDS CRATE)
• ASTM E2809-22 Standard Guide for Using Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (SEM/EDS) in Forensic Polymer Examinations
• SAE ARINC827 ELECTRONIC DISTRIBUTION OF SOFTWARE BY CRATE (EDS CRATE)
• T/CIET 1253-2025 扫描电镜-能谱仪(SEM-EDS)分析技术规范
• ISO 15632:2021 Microbeam analysis — Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)

检测方法

• 能谱点分析法——对选定微区进行定点元素采集，获取该点元素组成信息
• 能谱线扫描法——沿设定路径连续采集元素信号，分析界面成分梯度变化
• 能谱面分布法——在选定区域逐点采集元素信号，绘制元素二维分布图
• 无标样定量分析法——利用内置标样数据库进行元素含量计算，适用于快速筛查
• 有标样定量分析法——使用已知成分标样校准后进行定量，提高分析准确度
• 低真空模式分析法——在低真空条件下检测不导电样品，避免喷镀处理影响
• 高真空模式分析法——在高真空条件下采集能谱，提高轻元素检出灵敏度
• 低电压分析法——降低加速电压减少基体干扰，适用于薄膜或涂层分析
• SEM-EDS联用法——扫描电镜配合能谱同时获取形貌和成分信息
• TEM-EDS联用法——透射电镜配合能谱进行纳米级区域元素分析
• 能谱元素Mapping法——大面积扫描生成多元素分布图，用于整体成分评价
• 能谱深度剖析法——通过不同电压条件采集能谱，推算元素深度分布

检测信息

EDS是一种能量色散X射线光谱分析技术，用于对固体材料微区进行元素成分和含量分析，广泛应用于金属材料、矿物、陶瓷、半导体、涂层等领域的成分表征。

EDS检测的主要目的是获取材料微区的元素组成信息，涉及X射线能谱分析技术，通过检测特征X射线能量来识别元素种类并计算含量。

EDS检测流程包括样品制备、仪器校准、能谱采集、数据处理和定量分析，核心参数包括元素分析范围（硼到铀）、检出限、能量分辨率等。

常见问题

EDS检测需要多长时间？

通常7-15个工作日，具体时间取决于样品数量、检测项目数量及分析复杂程度，常规点分析周期较短，大面积Mapping或定量分析周期相对较长。

EDS检测费用大概多少？

根据检测项目数量确定，点分析、线扫描、面分布等不同项目收费标准不同，具体费用需结合样品数量和分析要求综合核算。

EDS检测对样品有什么要求？

样品需为固体且尺寸适合放入样品仓，表面需清洁平整，非导电样品需喷金或喷碳处理，粉末样品需压片或固定于导电胶上，样品不得含有挥发性物质。

总结

EDS是能量色散X射线光谱分析检测，覆盖微区元素定性定量分析、表面元素分布、涂层成分分析等内容。检测周期通常7-15个工作日。

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