SEM-EDS检测

检测范围

• 金属材料断口形貌分析样品
• 合金显微组织与微区成分样品
• 半导体器件截面结构样品
• 印制电路板焊点失效样品
• 陶瓷材料晶粒形貌样品
• 玻璃缺陷微区成分样品
• 高分子材料断面形貌样品
• 碳纤维复合材料界面样品
• 金属粉末颗粒形貌样品
• 陶瓷粉末粒径分布样品
• 电镀层厚度与成分样品
• 热喷涂层截面分析样品
• 焊接接头金属间化合物样品
• 金属材料腐蚀产物样品
• 钢中非金属夹杂物样品
• 纳米颗粒形貌与成分样品
• 锂电池电极材料微区样品
• 催化剂颗粒形貌样品
• 涂层截面元素分布样品
• 薄膜截面厚度与成分样品
• 生物医用材料表面形貌样品
• 耐火材料矿物相样品
• 电子元器件异物分析样品
• 矿物岩石薄片成分样品

检测标准（部分）

• IES SEM-11-14 IES Seminar - Light Sources & Auxiliary Devices
• IES SEM-11-IM-14 IES Seminar - Light Sources & Auxiliary Devices - Instructor's Manual
• NEMA SEM S1-2018 Small Electric Motors
• IES SEM-4-14 IES Seminar - Lighting Controls For Non-Residential Building
• GB/T 20726-2025 微束分析 扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法
• T/CIET 1253-2025 扫描电镜-能谱仪(SEM-EDS)分析技术规范
• ASTM E2809-22 Standard Guide for Using Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (SEM/EDS) in Forensic Polymer Examinations
• ISO 15632:2021 Microbeam analysis — Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)
• ASTM E3309-21 Standard Guide for Reporting of Forensic Primer Gunshot Residue (pGSR) Analysis by Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectrometry (SEM/EDS)
• ASTM E3345-26 Standard Practice for Opinions on the Interpretation of Primer Gunshot Residue (pGSR) Analysis by Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectrometry (SEM/EDS)
• ASTM E3284-23 Standard Practice for Training in the Forensic Examination of Primer Gunshot Residue (pGSR) Using Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectrometry (SEM/EDS)
• DIN ISO 15632:2022-09 Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA) (ISO 15632:2021)
• BS ISO 15632:2021 Microbeam analysis. Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)
• KS D ISO 15632 마이크로빔 분석 — 주사전자현미경(SEM) 또는 전자 탐침 미소분석기(EPMA)에서 사용하는 에너지 분산 엑스선 분광기(EDS)의 사양과 점검을 위해 선택한 기기 성능 파라미터
• KS D ISO 15632-2023 마이크로빔 분석 — 주사전자현미경(SEM) 또는 전자 탐침 미소분석기(EPMA)에서 사용하는 에너지 분산 엑스선 분광기(EDS)의 사양과 점검을 위해 선택한 기기 성능 파라미터
• DIN ISO 15632:2022-03 Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA) (ISO 15632:2021); Text in German and English
• GB/T 17362-2008 黄金制品的扫描电镜X射线能谱分析方法
• GB/T 25189-2010 微束分析 扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法
• GB/T 46057-2025 微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法
• GA/T 909-2010 微量物证的提取、包装方法　扫描电子显微镜/能谱法检验射击残留物

常见问题

SEM-EDS检测需要多长时间？通常7-15个工作日

SEM-EDS检测周期一般为7-15个工作日，具体时间取决于样品数量、检测项目复杂程度及样品制备难度。粉末样品只需分散喷金即可测试，周期较短；截面样品需镶嵌抛光处理，制备时间较长。如需加急服务可与检测中心沟通缩短周期。

SEM-EDS检测费用大概多少？根据检测项目数量确定

SEM-EDS检测费用根据检测项目数量确定，基础形貌观察与单一微区点分析费用较低，面扫描、线扫描及多点定量分析等项目费用相应增加。常规单个样品基础检测（形貌+点分析）费用在数百元至千元区间，具体报价需根据检测方案核算。

SEM-EDS检测对样品有什么要求？

样品需干燥、无磁性、无挥发性物质，尺寸一般不超过100mm×100mm×50mm，非导电样品需进行喷金或喷碳处理，粉末样品需分散固定于导电胶上，液体样品需滴于基片上干燥后测试，含液或含气样品需提前处理避免污染真空腔室。

检测信息

SEM-EDS是一种结合扫描电子显微镜（SEM）与能量色散X射线光谱仪（EDS）的联用分析技术，主要用于材料微观形貌观察与微区元素成分定性定量分析，广泛应用于金属材料、半导体器件、矿物岩石、陶瓷复合材料等领域的表征研究。

检测目的在于获取样品表面纳米至微米尺度的形貌特征信息，同时通过特征X射线能谱分析实现微区元素组成及分布的精确测定，技术手段涉及电子束扫描成像与X射线能谱采集，能够同时完成结构表征与成分分析。

检测流程包括样品制备（喷金或抛光处理）、真空腔室安装、电子束聚焦与图像采集、能谱点线面扫描分析及数据后处理，核心参数涵盖放大倍数（10-100000倍）、分辨率（3nm）、元素检测范围（Be-U）及检出限（0.1wt%）等。

SEM-EDS检测方法

• 电子束扫描成像法：利用二次电子或背散射电子信号获取表面形貌图像
• 能谱点分析法：对选定微区进行定点X射线能谱采集与元素定量
• 能谱面扫描法：在选定区域逐点采集能谱数据并生成元素分布图
• 能谱线扫描法：沿设定路径连续采集能谱数据绘制元素浓度曲线
• 背散射电子成分衬度法：利用原子序数衬度区分不同成分区域
• 截面制备分析法：通过镶嵌抛光制备截面并分析层间结构与成分
• 颗粒统计法：采集多视场图像并统计颗粒粒径分布与形貌参数
• 标准曲线定量法：使用标准样品建立校准曲线进行元素定量
• ZAF校正法：对能谱定量结果进行原子序数、吸收和荧光校正
• 无标样定量法：基于理论计算模型进行元素半定量分析
• 喷金导电处理法：对非导电样品进行离子溅射喷金以提高成像质量
• 离子抛光截面制备法：使用离子束抛光制备高质量截面用于界面分析

总结

SEM-EDS是结合扫描电镜与能谱仪的微区形貌与元素成分分析检测技术，覆盖形貌成像、元素定性定量及分布分析。

相关检测

• 碳氧同位素检测
• 邵氏硬度测试
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旗下实验室资质

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